掃描電子顯微鏡的主要組件包括：

• 電子源–這是在1-40kV的電壓下通過(guò)熱產(chǎn)生電子的地方。電子會(huì)凝結(jié)成束，用于創(chuàng)建模擬圖像和分析。可以使用三種類(lèi)型的電子源。e鎢絲，六硼化鑭和場(chǎng)發(fā)射槍?zhuān)‵EG）
• 透鏡–它有幾個(gè)聚光透鏡，將來(lái)自源的電子束聚焦通過(guò)柱，形成一個(gè)狹窄的電子束，形成一個(gè)稱(chēng)為光斑尺寸的光斑。
• 掃描線圈–用于將光束偏轉(zhuǎn)到樣品表面。
• 探測(cè)器–由幾個(gè)探測(cè)器組成，這些探測(cè)器能夠區(qū)分二次電子，反向散射電子和衍射反向散射電子。檢測(cè)器的功能很大程度上取決于電壓速度，樣品密度。
• 顯示設(shè)備（數(shù)據(jù)輸出設(shè)備）
• 電源供應(yīng)
• 真空系統(tǒng)

像透射電子顯微鏡一樣，掃描電子顯微鏡應(yīng)沒(méi)有振動(dòng)和任何電磁元素。